进水水源：总溶解性固形物含量TDS<200ppm，水压1.0-5.0kg/cm2，水温25℃。   制水量：5/10/20升/小时。 
  出水流速：1.5-1.8升/分钟(水箱储水时)。

软化水设备

超纯水设备

   RO出水水质：电导率2-10μs/cm。 
  UP出水水质：电阻率10-18MΩ.cm(在线监测)，重金属离子<0.1ppb，总有机碳(TOC)<30ppb。 
  微颗粒物<1个/ml(选配sartorius 0.45+0.2μm终端微滤器)，微生物<1cfu/ml(选配sartorius 0.45+0.2μm终端微滤器)。