一、空气法制臭氧：
自然空气净化干燥-低浓度臭氧发生器-臭氧化空气。这种方法制备出来的臭氧浓度一般为20mg/l-30mg/l。不仅用气量大，且耗电量较高。
二、氧气法制臭氧，又可分为两种类型：
1、富氧气体制备臭氧：自然空气干燥-纯氧分离-高浓度臭氧发生器-臭氧化氧气。这种方法已发展到采用高频电源及分子筛变压吸附制氧机（即吸附空气中的氮，将空气中的含氧量提高到85%-95%）。确保所制备的臭氧浓度超过80mg/l，臭氧产量可调节，工作过程由微机

处理器实时控制。任一环节出现异常变化均能自动关闭，保证安全运行的新一代适合于游泳池池水消毒，用负压法制备臭氧的氧气法臭氧发生器。其制备臭氧的成本大大地低于成本大大地低于纯氧制备臭氧的成本。
这种负压式制备臭氧的设备，臭氧发生筒工作稳定，利用中高频电源提高臭氧发生器的安全性、可靠性，从而避免了工频电源因放电电压过高，发生火灾的危险。同时在控制方面以PLC为控制核心，具有远控功能，并能实现与循环水泵、加压泵等的连锁和具有短路保护、

冷却水过温保护、变压器过温保护、机柜开头保护等各项连锁功能，是量种较新的制备臭氧工艺。该设备在我国已有生产，而且已被广泛用于游泳池池水的水消毒。
2、纯氧制备臭氧：液态纯氧-高浓度臭氧发生器-臭氧化氧气。这种方法制备出的臭氧浓度可超过80mg/l，但现场需要有液氧瓶库房，虽然液氧价格较高，但用量较小。但不适用于游泳池臭氧消毒。
3、臭氧-紫外线光组合型臭氧发生器机组。在同一设备内包含有臭氧和紫外线发生器，能起到双重作用。即不仅能使池水与臭氧充分混合，在接触室使之氧化和消毒，水流出接触室之前，通过紫外线光催化作用，使臭氧分解成氧，从而消除臭氧。而接触室内多余的臭氧

经尾气分解后排至大气。在池水消毒系统中不需要再设活性炭吸附过滤器来脱除被消毒水中剩余的臭氧，灵活性较大，节约机房面积和建设费用。