通过紫外线对细菌、病毒等微生物的照射，破坏微生物机体细胞中的DNA(脱氧核糖核酸)或RNA(核糖核酸)的分子结构，引起DNA链断裂、核酸和蛋白的交联破裂，造成生长性细胞死亡和再生性细胞死亡，达到杀菌的效果。其中以波长253.7nm的紫外线杀菌效果最佳。